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20年 RFPT射頻電源維修 射頻匹配器維修 AX1K5

2025-4-1 11:28:21

20年 RFPT射頻電源維修 射頻匹配器維修 AX1K5

射頻電源(RF generator)是用來產生射頻電功率的電源。 它的輸出一般是正弦波或脈沖,頻率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等規格,輸出功率從幾十瓦到幾十千瓦,輸出阻抗一般是50歐。

在RF電路設計中,包括如何通過小化環路面積、遵循功率回流路徑原則、遠離高增益放大器和使用星型拓撲來減少EMI。 同時強調了電源去耦技術和濾波電容的選擇對系統性能的關鍵作用。為了保護放大器,射頻電源采用了溫度傳感器、反射功率控制、快速反射功率控制、功耗控制、限流電路等設計方法,采用了沉積、蝕刻、清洗、Asher、大氣壓、濺射系統等固定方式。

應用范圍:主要服務于太陽能光伏、PVD鍍膜,半導體薄膜、離子注入、刻蝕,平板顯示,光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、研究所等設備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網絡RF Match、直流電源DC POWER、微波發生器等,提供設備維修、批量產品維修。

RF MATCH射頻匹配器維修范圍有ADVANCED射頻電源匹配器;ASTEX射頻電源匹配器;NP射頻電源匹配器;ASTECH射頻電源匹配器;SEREN射頻電源匹配器;射頻電源匹配器;KYOSAN射頻電源匹配器;ENI射頻電源匹配器;DAIHEN射頻電源匹配器;射頻電源匹配器;TRAZAR射頻電源匹配器維修等

主營業務:提供維修服務

維修真空濺射鍍膜設備、等離子清洗設備、真空貼合機、設備上的電控部件:射頻電源、射頻器、靶材電源、高壓電源、微波電源、磁控濺射電源、中頻電源、高頻電源、遠程等離子體源、霍爾離子源、脈沖電源、直流電源、氧化源電源、特種電源、匹配器、膜厚儀等。

維修儀器設備:試驗機、檢測儀、分析儀、光度計、鐳射切割機、激光器等。

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