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AP/PF PLASMA電源維修等離子變頻電源

維修包括：PECVD、MOCVD、IONIMP,PLASMA的設備電源,包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。電源維修的時候，需要檢測一下各功率器件是否存在擊穿短路，例如電源整流橋堆、開關管、高頻大功率整流管、浪涌電流的大功率電阻是否燒斷等，然后需要再檢測各輸出電壓端口電阻是否異常，如上述器件有損壞的情況我們則需要進行更換器件。

等離子清洗機的原理是等離子體和材料表面進行相互作用的過程，通過等離子體里面的各類活躍粒子撞擊材料表面，從而大大提高材料表面的性能。

等離子表面改性之后，其材料表面會變得更加粗糙，它讓材料表面發(fā)生了刻蝕，在一定程度上滿足了人們對材料表面的清洗要求。等離子清洗技術要比其他類型的清洗方式要更具優(yōu)勢，能夠大限度的滿足人們多元化的需求。

其次，經(jīng)過等離子表面清洗之后，材料表面就會更具有反應性，在這個過程中，活粒子在撞擊材料表面之后，其分子間的化學鍵就會被打開，然后產(chǎn)生大量的大分子基，說白了這個過程就是讓材料表面更加潔凈，例如可提升玻璃表面的親水性。

等離子清洗設備還可以通過利用對氣體施加足夠的動力使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活躍組分的性質來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。

通常應用在以下行業(yè)里：

1、如生物醫(yī)學領域，細胞培養(yǎng)皿表面可借助等離子清洗處理，提升表面親水性和表面的潤濕性；

2、新能源線路板領域，可提升表面的鍵合力等；等離子清洗技術還可以應用在電子器件的制造，特別是電子傳感器和連接器。在封裝之前用等離子表面處理是非常有用的，因為它可以增強其物理結合性能，并確保了可靠的密封性。等離子處理機是利用等離子高能粒子與材料表面發(fā)生物理和化學反應, 可以實現(xiàn)對材料表面進行蝕刻、除污等工藝處理, 起到提升表面粘合和親水性等作用。

3、生物芯片領域，借助等離子精細化處理，可清洗表面的殘留物，很好潔凈表面，等離子清洗機，它可以使承印物的表面有更高的附著性，像大多數(shù)塑料薄膜等材料屬基團聚合物，表面張力較低已知的油墨與粘合劑都無法在上面附著牢固，因此要對其表面進行等離子清洗處理，使塑料分子的化學鍵斷裂而降解，增加表面粗糙度。放電時還會產(chǎn)生大量的臭氧，臭氧是一種強氧化劑，能使塑料分子氧化，產(chǎn)生羰基與過氧化物等較強的基團，從而提高了其表面性能。等離子表面處理機可以用于印刷或粘合前處理，可以提高產(chǎn)品的可靠性和一致性，等離子可以優(yōu)化大多數(shù)表面的潤濕性，例如鋁和銅涂層，通過等離子表面優(yōu)化其潤濕性，可大大優(yōu)化塑料表面上用油墨進行涂漆或印刷的力度。

PLASMA電源維修針對半導體設備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、開關電源，線性直流電源，射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match等設備電源維修。