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hyacinth高壓電源維修高壓發生器 HTEV0201 REV.3

hyacinth射頻電源維修HTMV/HTEV系列 hyacinth電源維修

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統，工業系統中感應加熱和電介質加熱設備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長和平板顯示器領域應用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設備(ITE)及輕工業系統、鍍膜設備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。

當濾波電容上無380VDC左右電壓時，說明PFC電路沒有正常工作，PFC模塊關鍵檢測腳為電源輸入腳VC，啟動腳Vstart/control，C/RT腳及V0腳。測試一板上濾波電容上無380VDC電壓。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，測量場效應功率開關管無V0波形，由于FA5331(PFC)為貼片元件，機器用久后出現V0端與板之間虛焊，V0信號沒有送到場效應管。將V0端與板上焊點焊好，用萬用表測量濾波電容有380VDC電壓。當Vstart/control端為低電平時，PFC亦不能工作，則要檢測其端點與外部相連的有關電路。

電源電路有易有難，功率有大有小，輸出電壓多種多樣。充分熟悉開關電源的基本結構以及PFC及PWM模塊的特性，它們工作的基本條件，按照上述步驟和方法，多動手進行開關電源的維修，就能迅速地排除開關電源故障，起事半功倍的效果。

額定驅動頻率一般都是大于負載所需要的驅動頻率的。這樣做雖然使電機提供足夠的驅動頻率，電機的正常運作，但是其中有很大一部分的驅動頻率都會被浪費掉，這就造成了大量的電力能源被浪費，不能得到利用，不符合我國可持續發展的戰略要求。為了節約電力，使電力得到充分利用的要求，電機變頻控制被開發了出來，電機變頻控制能夠根據負載所需要的驅動頻率來改變電機輸出的功率和電壓，不會有多余的驅動被浪費，很好的提了電能的利用率，符合我國減排的要求。隨著我國對減排的要求越來越高，對于變頻控制系統的開發和研究也不斷的完善。

這個系統是一種典型的開環控制系統，這個系統能夠滿足大多數電機的平滑的變速要是，但是對于動態和靜態的調節性能都是有限的，不能應用在對動態和靜態性能要求比較嚴格的地方。為了實現動態和靜態調節的高性能，我們只能采用閉環控制系統來實現。

所以提出了控制閉環轉差頻率的電機調速方式，這種調速方式能夠在靜態動態調速中到很高的性能，但是這種系統只能在轉速比較慢的電機中得到應用，應為在電機的轉速較高的時候，并且結構簡單。這個系統應用在風機等大型的并且對于變頻系統的動態性能要求不是很高的地方。

射頻電源維修品牌：索倫森電源、IRM電源、AE、ENI(MKS電源維修)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源，HiTek Power，Spellmαn高壓電源，LΛmbda、delta、sorensen、PowerTEN等直流電源。ASTeX Power Supply、ASTeX MATCH、FLASH  LΛMP。

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